मानक आयाम क्वार्ट्ज ग्लास शीट अल्ट्रा उच्च सपाटता के लिए 9 इंच वेफर

9 इंच की वेफर कैलिब्रेशन क्वार्ट्ज ग्लास शीट अल्ट्रा-हाई फ्लैटनेस के साथ

यह 9 इंच की शीट क्वार्ट्ज ग्लास एक उच्च परिशुद्धता अर्धचालक उपकरण के लिए मानक है।यह लिथोग्राफी में दैनिक उपकरण सत्यापन के लिए मानक 9 इंच वेफर विनिर्देशों से मेल खाता है, जांचकर्ता, एओआई निरीक्षण और ऑप्टिकल मेट्रोलॉजी अनुप्रयोग।

उत्पाद पैरामीटर

प्रमुख विशेषताएं

• अति उच्च समतलताअति सख्त समतलता सहिष्णुता के साथ सटीक पॉलिश सतह, अर्धचालक उपकरणों के लिए विश्वसनीय कैलिब्रेशन परिणाम सुनिश्चित करती है।
• समान ऑप्टिकल गुणपूरे प्लेट सतह पर सुसंगत ऑप्टिकल ट्रांसमिशन, एओआई और दृष्टि आधारित निरीक्षण प्रणाली के लिए आदर्श।
• कम आंतरिक तनावन्यूनतम थर्मल विरूपण और तनाव-प्रेरित विकृति, विभिन्न पर्यावरणीय परिस्थितियों में आयामी स्थिरता बनाए रखना।
• रासायनिक सफाई प्रतिरोधमानक अर्धचालक सफाई सॉल्वैंट्स के लिए प्रतिरोधी, बार-बार सफाई चक्रों के बाद सतह की गुणवत्ता को संरक्षित करता है।
• दीर्घकालिक स्थिरतासमय के साथ परिशुद्धता में गिरावट के बिना दैनिक उपयोग के लिए डिज़ाइन किए गए एक विशेष कैलिब्रेशन मानक।

आवेदन

1अर्धचालक वेफर निरीक्षण

9 इंच के वेफर आयाम, सपाटता और warp निरीक्षण के लिए मास्टर संदर्भ प्लेट। वेफर AOI ऑप्टिकल निरीक्षण उपकरण के लिए दैनिक कैलिब्रेशन मानक के रूप में कार्य करता है,उत्पादन लाइनों में पहचान की सटीकता को एकीकृत करना.

2लिथोग्राफी एवं पैकेजिंग प्रक्रिया

लिथोग्राफी मशीनों और डाई बॉन्डर्स के लिए संरेखण बेंचमार्क। उपकरण लेंस फोकस और प्लेटफॉर्म पोजिशनिंग सटीकता का नियमित कैलिब्रेशन उत्पादन दोषों को कम करता है और उपज स्थिरता में सुधार करता है।

3जांचकर्ता परीक्षण उपकरण

प्रोबर स्टेशन समन्वय कैलिब्रेशन और प्लेटफार्म सपाटता सत्यापन के लिए संदर्भ प्लेट, अर्धचालक निर्माण में सटीक वेफर विद्युत परीक्षण सटीकता सुनिश्चित करती है।

4ऑप्टिकल प्रयोगशाला कैलिब्रेशन

दृष्टि मापने वाली मशीनों और समोच्च परीक्षकों के लिए मानक कैलिब्रेशन ग्लास, जिसका उपयोग मेट्रोलॉजी प्रयोगशालाओं में नियमित साधन सटीकता सत्यापन के लिए किया जाता है।

साधारण ग्लास और साधारण क्वार्ट्ज शीट पर फायदे

साधारण शीशे की प्लेटों और सामान्य क्वार्ट्ज शीटों के विपरीत, इस कैलिब्रेशन-ग्रेड क्वार्ट्ज शीट में सख्ती से नियंत्रित सपाटता सहिष्णुता के साथ सटीक पॉलिश सतहें हैं।यह न्यूनतम थर्मल विरूपण प्रदर्शित करता है और बार-बार रासायनिक सफाई के बाद स्थिर सटीकता बनाए रखता है।, उद्योग-मानक कैलिब्रेशन भाग विशेष रूप से अर्धचालक उत्पादन वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है।