मोटी 9 इंच वेफर कैलिब्रेशन क्वार्ट्ज ग्लास प्लेट उच्च तापमान

मोटी 9-इंच वेफर कैलिब्रेशन ग्लास प्लेट एक सटीक ऑप्टिकल संदर्भ सब्सट्रेट है जिसे सेमीकंडक्टर वेफर आयाम, उपस्थिति और समतलता निरीक्षण के लिए इंजीनियर किया गया है। उच्च-पारगमन फ्यूज्ड सिलिका या क्षार-मुक्त बोरोसिलिकेट ग्लास से निर्मित, यह कैलिब्रेशन प्लेट मानक 9-इंच वेफर आयाम से मेल खाती है, जबकि एक अनुकूलित मोटी संरचना प्रदान करती है जो बार-बार निरीक्षण चक्रों के दौरान झुकने और विकृत होने का प्रतिरोध करती है। डबल-साइडेड अल्ट्रा-प्रिसिजन पॉलिश सतहें ऑप्टिकल-ग्रेड समतलता और समानांतरता प्रदान करती हैं, जो स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण प्रणालियों के लिए एक स्थिर ज्यामितीय आधार प्रदान करती हैं। एक समर्पित कैलिब्रेशन संदर्भ के रूप में, प्लेट यह सुनिश्चित करती है कि लंबे उत्पादन रनों में माप डेटा सुसंगत और दोहराने योग्य बना रहे, जिससे यह वेफर निर्माण, लिथोग्राफी संरेखण और ऑप्टिकल छवि माप अनुप्रयोगों के लिए एक आवश्यक उपकरण बन जाता है।

• कठोरता के लिए मोटी संरचना: प्रबलित प्लेट निरीक्षण के दौरान विकृति और विरूपण से बचाती है, स्थिर और दोहराने योग्य कैलिब्रेशन डेटा प्रदान करती है।
• डबल-साइडेड अल्ट्रा-प्रिसिजन ऑप्टिकल पॉलिशिंग: सतहें खरोंच, गड्ढों, बुलबुले और पत्थरों से मुक्त हैं, ऑप्टिकल-ग्रेड समतलता और समानांतरता के साथ।
• यूवी से दृश्य प्रकाश तक समान उच्च पारगमन: उच्च-शुद्धता सब्सट्रेट अवांछित प्रकाश हस्तक्षेप को कम करता है और AOI स्वचालित ऑप्टिकल निरीक्षण उपकरण के साथ पूरी तरह से संगत है।
• कम तापीय विस्तार गुणांक: तापमान परिवर्तन के तहत न्यूनतम विरूपण संदर्भ ज्यामिति को स्थिर रखता है, और सामग्री एसिड और क्षार सफाई समाधानों का प्रतिरोध करती है।
• सटीक चैम्फर्ड किनारे: चिपिंग-मुक्त किनारे हैंडलिंग और लोडिंग के दौरान वेफर्स और निरीक्षण लेंस को खरोंच से बचाते हैं।

मोटी 9-इंच वेफर कैलिब्रेशन ग्लास प्लेट सेमीकंडक्टर निर्माण और निरीक्षण वातावरण में एक बहुमुखी ऑप्टिकल संदर्भ के रूप में कार्य करती है। यह 9-इंच सिलिकॉन वेफर आयाम कैलिब्रेशन के लिए व्यापक रूप से उपयोग की जाती है, एक विश्वसनीय ज्यामितीय मानक प्रदान करती है जो माप उपकरणों की सटीकता को सत्यापित करता है। वेफर समतलता निरीक्षण में, ऑप्टिकल-ग्रेड सतह सतह की एकरूपता की तुलना करने और विचलन का पता लगाने के लिए एक विश्वसनीय संदर्भ आधार के रूप में कार्य करती है। प्लेट ऑप्टिकल छवि मापने वाले उपकरणों के लिए एक मानक वाहक के रूप में भी कार्य करती है, जो आयामी विश्लेषण के दौरान सुसंगत स्थिति का समर्थन करती है। लिथोग्राफी उपकरण में, यह एक संरेखण कैलिब्रेशन प्लेट के रूप में काम करती है जो सटीक पैटर्न पंजीकरण बनाए रखने में मदद करती है। इसके अतिरिक्त, प्लेट वेफर सतह दोष निरीक्षण के लिए एक फिक्स्चर बेस के रूप में अपनाई जाती है, जो स्वचालित दोष पहचान प्रणालियों के लिए एक सपाट, स्थिर और संदूषण-मुक्त मंच प्रदान करती है।

• एंटी-बेंडिंग मोटी प्लेट: प्रबलित संरचना लंबे समय तक बड़े पैमाने पर निरीक्षण के दौरान संदर्भ ऑफसेट को रोकती है, कैलिब्रेशन परिणामों को शिफ्ट दर शिफ्ट विश्वसनीय रखती है।
• अवक्षेपण के बिना उच्च-शुद्धता सामग्री: स्वच्छ सब्सट्रेट कोई संदूषक जारी नहीं करता है, संपर्क निरीक्षण के दौरान वेफर्स को प्रदूषण से बचाता है।
• पूर्ण अनुकूलन उपलब्ध: मोटाई, ऑप्टिकल कोटिंग, संरेखण स्केल मार्किंग, स्लॉटिंग और ड्रिलिंग सभी को ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार तैयार किया जा सकता है।
• उच्च एकल-टुकड़ा स्थिरता: सख्त विनिर्माण नियंत्रण सुनिश्चित करता है कि प्लेटें समान प्रदर्शन के साथ कई निरीक्षण मशीनों में विनिमेय हों।